Коллектив авторов Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах

arximagkirill / Досуг / 1 Комментариев

Коллектив авторов Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах

скачать

Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO 2 , оксинитрида SiO x N y и нитрида Si 3 N 4 кремния. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al 2 O 3 , HfO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , твердые растворы (HfO 2 ) x (Al 2 O 3 ) 1 – x . Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.

Также искали

Калинина Н.Д. Что скрывают зеркала

Laurien Gardner The Spanish Bride

Михеенков, Сергей Егорович Лидия Русланова. Душа-певица

Рудницкая В. Математика. 4 класс. Подготовка к итоговой аттестации. Контроль уровня усвоения знаний. Критерии оценок. Ответы для проверки

1 комментарии для “Коллектив авторов Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *